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lishiguangxueji

立式光學(xué)計

立式接觸式干涉儀

發(fā)布時間:2020-04-10 人氣: 來源:上海泰明光學(xué)儀器有限公司

立式接觸式干涉儀  JDS-1 


用途 

 本儀器是一種采用量塊或標準零件借以高精度的比較方式的立式精密長度計量儀器。


技術(shù)規(guī)格 

被測件最大長度

150 mm


工作臺行程

5 mm

測桿移動范圍

0.5mm

分劃板刻度范圍

±50格

直接測量范圍

5-20μm

分度值調(diào)整范圍

0.05-0.2 μm

推薦使用分度值

0.1 μm

測量壓力

(1.5±0.1) N

儀器示值穩(wěn)定性

0.02 μm

儀器誤差

立式接觸式干涉儀

n 是格數(shù), i是格值,λ是濾光片中心波長,λ是濾光片波長誤差,

儀器體積

280×500×700 mm

儀器重量

40 kg

標準配件

 

五筋園臺、九筋瑪瑙臺、可調(diào)園平臺、輔助臺、平面測帽Ф2、小球面測帽、干涉濾光片


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